ハードディスク、スピンドルモータなどの発塵検査に最適。

• 光源に半導体レーザ励起固体レーザを採し、優れた耐久性を実現
• RS-232Cインタフェースを標準装備、コンピュータによる自動測定が可能
• 測定結果をプリンタ（オプション）に印字可能

スーパークリーンの評価、フィルタのリーク試験に。

• 半導体レーザ励起固体レーザ採用で、小型・軽量
• ISO 21501-4（JIS B 9921）適合
• ISO 14644-1に準じた空気清浄度を、簡単に評価
• リオン多点モニタリングシステムへの組み込みや、チューブ多点システムの構築が可能
• 測定データはCFカードに保存が可能
• プリンタ（工場オプション）を内蔵可能

0.3μmの粒子を3L/minの試料空気流量で測定。

• 自動流量制御で操作がより簡単に
• 本体に内蔵されたプリンタで測定結果を印字
• RS-232Cインタフェースを標準装備、コンピュータによる自動測定が可能
• D/Aコンバータインターフェース（工場オプション）により、計装への直接接続可能

• ISO 21501-4（JIS B 9921）適合
• パスワードの設定により、管理者と使用者とで操作内容を区別
• 表示言語は日本語、英語を選択可能
• USB端子およびSDカードスロットを搭載
• 多点モニタリングシステムに対応

薬液中の0.03μm粒子を測定。
フッ化水素酸対応。

• 最小可測粒径0.03μm、薬液対応の液中パーティクルセンサにおいて世界最小粒径（2014年2月当社調べ）
• セルにサファイアを採用
• 豊富なオプションによりバッチ測定とインライン測定の両方に対応

0.1μmが測定可能な信頼性の高いパーティクルセンサ。
高計数効率による、少ないサンプル量で測定が可能。

• 高計数効率により少ないサンプル量で測定が可能
• セルにサファイアを採用

0.05μm、超純水の粒子汚染を監視。
センサ・コントローラ・流量計・データ保存を一体化したオールインワンタイプ。

• 超純水ラインに直接インストール、プロセスを管理
• パージエアユニット標準搭載
• 高圧に対応 500kPa（ゲージ圧）
• D/Aコンバータ（4-20mA）、アラーム出力接点を標準装備
• プリンタを内蔵、コンパクトフラッシュカード（オプション）も使用可能

0.1μm,薬液管理、フッ化水素酸に対応するインライン・多点モニタリングシステム用センサ。

• 供給ラインにダイレクト接続、工程の異常をすばやくキャッチ
• センサコントローラ（KZ-70）やモニタリング・ソフトウェアとの組み合わせで測定現場での制御、結果表示が可能
• セルにサファイアを採用

オーシールはシリコンゴムまたはフッ素ゴム芯材の外側をテフロンFEP（四フッ化エチレン。六フッ化プロピレン共重合体）で完全に被覆した対化学薬品性、耐熱・耐寒に優れたO－リングタイプのシールリングです。